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商品介绍
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干式清洗技术/设备/模组3
https://www.elecsoar.com/ 和真翔科技有限公司

超音波干式清洗技术/模组/设备

  1. 藉由超音波突破边界层,将震荡能量传递至微粒
  2. 微粒获得能量,与基板分离后,由两侧排气口移除

CO2 Snow干式喷洗技术

  1. 制程环保,完全无二次污染
  2. 制程中完全不需要用水
  3. 省去干燥制程,缩短制程时间
  4. 减少清洗制程设备之楼地板面积
  5. 对微粒的清洗效果极佳